HPSP는 반도체 전공정에서 쓰이는 고압 수소 어닐링 장비를 연구개발하고 만들어 파는 회사입니다. 핵심 제품인 GENI-SYS는 반도체 트랜지스터 계면 결함을 줄여 성능을 높이는 장비로, 공정 미세화가 진행될수록 필요한 장비로 설명됩니다.
- 고압 수소 어닐링은 고압의 수소나 중수소를 이용해 반도체 소자 계면 결함을 줄이는 공정입니다.
- GENI-SYS는 반도체 전공정 장비로 분류됩니다.
공시 근거
당사는 고유전율(High-K) 절연막을 사용하는 트랜지스터의 계면 특성을 개선하는 고압 수소 어닐링(High Pressure Annealing, 이하 "HPA") 장비에 대한 연구·개발 및 제조, 판매를 전문으로 하고 있습니다.
당사의 고압 수소 어닐링 장비는 반도체 소자 계면의 문제점 개선을 목표로 연구개발하여 제품화한 반도체 전공정 장비입니다.
상기 기술을 활용한 당사의 GENI-SYS 장비는 전 세계 고압 관련 인증을 획득한 유일한 고압 수소 어닐링 장비로, 글로벌 메이저 반도체 업체의 양산 Fabrication(이하 "Fab")에서 가동 중입니다.