브이엠은 반도체 제조 전공정에서 웨이퍼를 깎아내는 건식 식각장비를 만드는 회사입니다. 핵심은 300mm 웨이퍼용 실리콘 식각장비와 금속막 식각장비이며, 자체 플라즈마 소스 기술을 기반으로 외산 장비를 대체하는 데 초점을 둡니다.
- 주력 제품은 300mm 실리콘 식각장비인 Poly Etcher입니다.
- 금속막 식각장비인 Metal Etcher도 SK하이닉스에 양산 판매하고 있습니다.
- 플라즈마 소스 기술은 화학기상증착, 원자층 박막증착, 원자층식각 장비에도 적용될 수 있습니다.
공시 근거
당사는 반도체 제조 전공정 장비인 건식 식각장비(Dry Etcher) 제조업체로서 관련한원천기술을 다수 보유하고 있습니다.
주력 제품인 300mm 실리콘 식각장비(Poly Etcher)는 세계적인 반도체소자 업체인 SK하이닉스(주)에 다량 납품되어 현재 반도체 식각 공정에 사용되고 있습니다.
또한 당사는 2020년 4분기부터 300mm 금속막 식각장비(Metal Etcher)를 SK하이닉스(주)에 양산판매하기 시작했습니다.